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COWAQ S150RTL-1自動真空磁控離子濺射鍍膜儀

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1. 概述
 Cowaq 公司的 S150RTL-1 型全自動真空磁控離子濺射儀是用于電鏡樣品前處理的高質量的鍍膜儀系統(tǒng)。整臺設備采用了低溫磁控設計，不僅使金屬

靶和樣品臺表面的冷卻不再需要，而且更低的濺射電壓也使得儀器的使用壽命、安全性以及濺射效率更高。
2、S150RTL-1 的主要優(yōu)勢功能包括：
 全自動運行
 10 寸彩色液晶觸摸屏全自動控制
150 mm(6 英寸)大樣品室
低電壓低溫磁控濺射
 參數可預設
全自動的操作和控制系統(tǒng)使得用戶能更為方便地通過預選擇參數來保證鍍層厚度的精確和重復，也使得樣品表面的鍍層厚度以及顆粒更為均勻。10 寸的 液晶 屏可以更好地消除使用者對自己視力和手指直徑的擔憂，獲得更好的操作感覺。150mm 的樣品室設計使用戶能更方便地裝卸更大尺寸的樣品，或是更多的樣品，不僅可以降低成本，提高靶材的利用率，也大大提高了工作的效率。 配合多功能行星型傾斜旋轉樣品臺，可以使不同形狀的樣品表面以及處于整個真空室

內各個不同位置的樣品表面可以進行不同位置、角度交換，從而使所有的樣品表面在不同位置，不同角度得到均勻、一致的鍍膜效果。此濺射儀可以使用標準的 57mm 直徑，0.1mm 厚的金、鉑、金/鈀、鉑/鈀或用戶自行訂制的其他厚度靶材。所有的濺射參數都可被預先設置，而不需要每次調節(jié)。完全實現全自動操作，使用者的參與已經被減至很少。

技術規(guī)格
儀器尺寸：410mm （長） x 390mm （寬） x 350mm（高），重 20 公斤
 工作腔室：硼硅酸鹽玻璃 150mm（直徑） x 65mm（高）
靶：直徑 57mm，0.1/0.2mm 厚（標準靶為金靶）、
行星傾斜旋轉樣品臺（選配）：直徑 86mm，靶面距離 40mm
真空度： 1x10 -2 mbar
濺射電流：10，20，30，40mA 可調
沉積速率：0-25 納米/分鐘
濺射定時：0-300 秒可調
預設置針閥：控制氬氣壓力，自動控制氬氣樣品室清洗
真空泵：油泵
真空測量：皮拉尼真空計
膜厚測量，可選配膜厚儀 MTM-20
氬氣要求：99.99% 純氬氣，壓力設定 0.5/0.6 bar，6.0mm 管路接口
 電源：220 伏， 50Hz
MTM-20 膜厚監(jiān)控儀技術規(guī)格 （選 配） ：
 基于微處理控制，4 位顯示系統(tǒng)，6 MHz 晶體監(jiān)探器，每秒 5 次實時監(jiān)控
膜厚監(jiān)控范圍： 0 到 999.9 納米
分辨率： 優(yōu)于 0.1 納米
密度范圍：0.50 到 30.00gm/cm3
電源：200-240 VAC, 50/60Hz
功率：550VA
葉片式油泵技術參數
抽速：24m3/h
 真空度：5 x 10 -3 Torr
電壓：220V，50Hz
更多詳細資料可來電咨詢！