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VTC-16-3HD 3靶等離子濺射儀
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- 產(chǎn)品簡(jiǎn)介
- 產(chǎn)品性能參數(shù)
- 適用范圍
- 服務(wù)網(wǎng)點(diǎn)
產(chǎn)品型號(hào) |
VTC-16-3HD 3靶等離子濺射儀 |
安裝條件 |
本設(shè)備要求在海拔1000m以下,溫度25℃±15℃,濕度55%Rh±10%Rh下使用。 1、水:不需要 2、電:AC220V 50Hz,必須有良好接地 3、氣:設(shè)備腔室內(nèi)需充注氬氣(純度99.99%以上)清洗,需自備氬氣氣瓶 4、工作臺(tái):尺寸600mm×600mm×700mm,承重50kg以上 5、通風(fēng)裝置:需要 |
主要特點(diǎn) |
1、PLC控制面板,4.3″觸摸屏,PID控溫方式。 2、可控參數(shù)包括真空度、電流、靶材位置、基片加熱溫度。 3、可與真空泵、不銹鋼波紋管KFD25快速卸裝卡箍連用。 4、已通過(guò)CE認(rèn)證。 |
技術(shù)參數(shù) |
1、輸入功率:110V/220V通用 2000W(含真空泵) 2、輸出功率:1600VDC 50mA(最大電流) 3、石英罩:?160mm×120mm 4、樣品臺(tái):?50mm(可選購(gòu)加熱型樣品臺(tái),最高溫度可到500℃;最長(zhǎng)濺射時(shí)間不可超過(guò)5min) 5、真空泵:120L/M旋片式真空泵 6、進(jìn)氣口:裝有精密可調(diào)針閥,以實(shí)現(xiàn)方便的調(diào)節(jié)進(jìn)氣量 7、靶材:尺寸直徑?47mm,厚度0.1mm-3mm;可濺射Au、Ag、Pt、Cr、Ni,不可濺射氧化物、半導(dǎo)體、一些輕 金屬、Al、Zn、C等 |
產(chǎn)品規(guī)格 |
尺寸:360mm×350mm×3600mm;重量:50kg |
可選配件 |
1、KF25真空接口、卡箍 2、不銹鋼波紋管(600mm) 3、旋片式真空泵(120L/M) 4、鉑、銀、鋅等各種高純度金屬靶材 5、加熱型樣品臺(tái) |