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VTC-600-2HD雙靶磁控濺射儀
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- 產(chǎn)品簡介
- 產(chǎn)品性能參數(shù)
- 適用范圍
- 服務(wù)網(wǎng)點(diǎn)
產(chǎn)品型號 |
VTC-600-2HD雙靶磁控濺射儀 |
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產(chǎn)品型號 |
VTC-600-2HD |
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安裝條件 |
本設(shè)備要求在海拔1000m以下,溫度25℃±15℃,濕度55%Rh±10%Rh下使用。 1、水:設(shè)備配有自循環(huán)冷卻水機(jī)(加注純凈水或者去離子水) 2、電:AC220V 50Hz,必須有良好接地 3、氣:設(shè)備腔室內(nèi)需充注氬氣(純度99.99%以上),需自備氬氣氣瓶(自帶?6mm雙卡套接頭)及減壓閥 4、工作臺:尺寸1500mm×600mm×700mm,承重200kg以上 5、通風(fēng)裝置:需要 |
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主要特點(diǎn) |
1、配置兩個(gè)靶槍,一個(gè)配套射頻電源用于非導(dǎo)電靶材的濺射鍍膜,一個(gè)配套直流電源用于導(dǎo)電性材料的濺射鍍膜。 2、可制備多種薄膜,應(yīng)用廣泛。 3、體積小,操作簡便。 |
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技術(shù)參數(shù) |
1、電源電壓:220V 50Hz 2、功率:<2KW(不含真空泵) 3、極限真空度:9.0×10-4Pa 4、樣品臺加熱溫度:RT-500℃,精度±1℃(可根據(jù)實(shí)際需要提升溫度) 5、靶槍數(shù)量:2個(gè)(可選配其他數(shù)量) 6、靶槍冷卻方式:水冷 7、靶材尺寸:?2″,厚度0.1-5mm(因靶材材質(zhì)不同厚度有所不同) 8、直流濺射功率:500W;射頻濺射功率:300W。(靶電源種類可選,可選擇兩個(gè)直流電源,也可選擇兩個(gè)射頻電源,或選則一個(gè)直流一個(gè)射頻電源) 9、載樣臺:?140mm,可根據(jù)客戶需求選配加裝偏壓功能,以實(shí)現(xiàn)更高質(zhì)量的鍍膜。 10、載樣臺轉(zhuǎn)速:1rpm-20rpm內(nèi)可調(diào) 11、工作氣體:Ar等惰性氣體 12、進(jìn)氣氣路:質(zhì)量流量計(jì)控制2路進(jìn)氣,一路為100SCCM,另一路為200SCCM。 |
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產(chǎn)品規(guī)格 |
1、主機(jī)尺寸:500mm×560mm×660mm 2、整機(jī)尺寸:1300mm×660mm×1200mm 3、真空室規(guī)格:φ300×300mm 4、重量:160kg |
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標(biāo)準(zhǔn)配件 |
1 |
直流電源控制系統(tǒng) |
1套 |
2 |
射頻電源控制系統(tǒng) |
1套 |
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3 |
膜厚監(jiān)測儀系統(tǒng) |
1套 |
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4 |
分子泵(德國進(jìn)口) |
1臺 |
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5 |
冷水機(jī) |
1臺 |
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6 |
冷卻水管(?6mm) |
4根 |
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可選配件 |
金、銦、銀、白金等各種靶材 |