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日本電子JSM-7500F 冷場發(fā)射掃描電子顯微鏡

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JSM-7500F場發(fā)射掃描鏡配備了冷場發(fā)射電子槍和半浸沒式（semi-in-lens）物鏡，配合Gentle Beam （GB模式即柔和光束）能夠達(dá)到很高的分辨率。通過與GB模式組合，即使是用幾百電子伏的入射電子束也能獲得很高的分辨率，是非常適合觀察樣品淺表面的裝置之一。此外，JSM-7500F還可以選配用于元素分析等的各種附件。
強(qiáng)大的通用性與高分辨率的組合
JSM-7500F場發(fā)射掃描電鏡的電子光學(xué)系統(tǒng)將場發(fā)射電子槍和半浸沒式（semi-in-lens）物鏡組合為一體，冷場發(fā)射電子槍在低加速電壓下也能夠?qū)㈦娮邮劢沟煤芗?xì)，與通用型掃描電鏡一樣，對大樣品也可以進(jìn)行高分辨率的觀察。
Gentle Beam(即柔和光束)能以很低能量的入射電子束觀察樣品的淺表面
通過給樣品加以偏壓并照射電子束，利用分辨率高于一般模式的Gentle Beam模式 （柔和光束），以幾百電子伏的入射電子對樣品的淺表面進(jìn)行高分辨率觀察.
新型 r-過濾器選擇性檢測二次電子和背散射電子
新型 r-過濾器有標(biāo)準(zhǔn)SB（二次電子檢測）模式、標(biāo)準(zhǔn)BE模式（背散射電子檢測）、Sb模式（二次電子為主）和Bs模式（背散射電子為主）四種模式。Sb模式能檢測混有任意比例背散射電子的二次電子，Bs模式能檢測混有任意比例二次電子的背散射電子，這些功能在簡明易懂的菜單上都可一鍵操作完成。
電子槍 冷場發(fā)射 
物鏡 semi-in-lens物鏡
分辨率 1.0 nm @ 15 kV、1.4 nm @ 1 kV
加速電壓 0.1～30kV
束流 1pA ～ 2nA
自動光闌角控制透鏡 內(nèi)置
倍率 x 25 ～ x 1,000,000
檢測器 高位檢測器（SED）
低位檢測器（LED）
能量過濾器 r-能量過濾器
Gentle Beam模式 內(nèi)置
樣品交換室 內(nèi)置（具有干燥氮氣導(dǎo)入功能）
氣鎖式、可交換的max樣品：φ100mm×40mmH
樣品臺 5軸馬達(dá)驅(qū)動、全對中測角樣品臺
樣品移動范圍 X: 70 mm , Y: 50 mm，Z: 1.0～25 mm，傾斜:-5～70°, 旋轉(zhuǎn): 360°
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