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日本電子JSM-7500F 冷場(chǎng)發(fā)射掃描電子顯微鏡

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JSM-7500F場(chǎng)發(fā)射掃描鏡配備了冷場(chǎng)發(fā)射電子槍和半浸沒(méi)式(semi-in-lens)物鏡,配合Gentle Beam (GB模式即柔和光束)能夠達(dá)到很高的分辨率。通過(guò)與GB模式組合,即使是用幾百電子伏的入射電子束也能獲得很高的分辨率,是非常適合觀察樣品淺表面的裝置之一。此外,JSM-7500F還可以選配用于元素分析等的各種附件。
強(qiáng)大的通用性與高分辨率的組合
JSM-7500F場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡的電子光學(xué)系統(tǒng)將場(chǎng)發(fā)射電子槍和半浸沒(méi)式(semi-in-lens)物鏡組合為一體,冷場(chǎng)發(fā)射電子槍在低加速電壓下也能夠?qū)㈦娮邮劢沟煤芗?xì),與通用型掃描電鏡一樣,對(duì)大樣品也可以進(jìn)行高分辨率的觀察。
Gentle Beam(即柔和光束)能以很低能量的入射電子束觀察樣品的淺表面
通過(guò)給樣品加以偏壓并照射電子束,利用分辨率高于一般模式的Gentle Beam模式 (柔和光束),以幾百電子伏的入射電子對(duì)樣品的淺表面進(jìn)行高分辨率觀察.
新型 r-過(guò)濾器選擇性檢測(cè)二次電子和背散射電子
新型 r-過(guò)濾器有標(biāo)準(zhǔn)SB(二次電子檢測(cè))模式、標(biāo)準(zhǔn)BE模式(背散射電子檢測(cè))、Sb模式(二次電子為主)和Bs模式(背散射電子為主)四種模式。Sb模式能檢測(cè)混有任意比例背散射電子的二次電子,Bs模式能檢測(cè)混有任意比例二次電子的背散射電子,這些功能在簡(jiǎn)明易懂的菜單上都可一鍵操作完成。
電子槍 冷場(chǎng)發(fā)射 
物鏡 semi-in-lens物鏡
分辨率 1.0 nm @ 15 kV、1.4 nm @ 1 kV
加速電壓 0.1~30kV
束流 1pA ~ 2nA
自動(dòng)光闌角控制透鏡 內(nèi)置
倍率 x 25 ~ x 1,000,000
檢測(cè)器 高位檢測(cè)器(SED)
低位檢測(cè)器(LED)
能量過(guò)濾器 r-能量過(guò)濾器
Gentle Beam模式 內(nèi)置
樣品交換室 內(nèi)置(具有干燥氮?dú)鈱?dǎo)入功能)
氣鎖式、可交換的max樣品:φ100mm×40mmH
樣品臺(tái) 5軸馬達(dá)驅(qū)動(dòng)、全對(duì)中測(cè)角樣品臺(tái)
樣品移動(dòng)范圍 X: 70 mm , Y: 50 mm,Z: 1.0~25 mm,傾斜:-5~70°, 旋轉(zhuǎn): 360°
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