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GSC300 高速型 超聲掃描顯微鏡

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主要配置:
1、龍門式高速直線電機(jī)掃描運(yùn)動(dòng)臺(tái);
2、主動(dòng)平衡減震系統(tǒng);
3、整體焊接框架,提高穩(wěn)定性;
4、全封閉防護(hù);
5、萬能夾具、一鍵校準(zhǔn)、遠(yuǎn)程協(xié)助;
6、自動(dòng)上下水及水循環(huán)凈化系統(tǒng)。
 
應(yīng)用領(lǐng)域
精密器件 ——半導(dǎo)體、集成電路和金剛石等行業(yè)高速全檢,適用于理化試驗(yàn)室或車間現(xiàn)場(chǎng)。
產(chǎn)品參數(shù)
1、工作電源:220V/50Hz,3KW;
2、zui大掃描范圍: 500mm×330mm×100mm;圖像推薦分辨率:0.5um ~ 4000um;
3、整機(jī)尺寸:1250mm×850mm×1300mm;(標(biāo)配)
4、探頭頻率范圍:1~50MHz;(標(biāo)配,可升級(jí)至230MHz);
5、圖像推薦分辨率:0.5um ~ 4000um;
6、典型掃描耗時(shí):≤35s (測(cè)試條件:掃描區(qū)域10mmX10mm,分辨率50um);
7、zui大掃描速度:1000mm/s;zui大掃描加速度:8m/s2;
8、運(yùn)動(dòng)臺(tái)定位精度:X/Y向<±0.5um,Z向<±10um;重復(fù)定位精度:X/Y向<±0.01mm,Z向<±0.02mm。
9、采樣頻率:25~250MHz;(標(biāo)配,可升級(jí)至1.5GHz);
10、每通道可調(diào)增益:-13~66dB;(標(biāo)配,可升級(jí));脈沖重復(fù)頻率:5kHz;(標(biāo)配,可升級(jí))。
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