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氣浮型隔振光學平臺 ZDT-P系列

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? 阻尼結(jié)構(gòu)工作臺板,可消除表面共振

? 臺板可選

? 自動調(diào)平

? 可配套安裝腳輪

 

蜂窩結(jié)構(gòu)隔振平臺臺板或超導磁隔振平臺臺板,臺板強度高,穩(wěn)定可靠;隔振器采用超薄復合材料氣囊、帶附加擴散口的多小孔準層流阻尼技術(shù),隔振性能良好,系統(tǒng)穩(wěn)定。自動水平,自動充氣,關(guān)鍵氣動執(zhí)行元件均采用德國FEST0產(chǎn)品,靜音空氣壓縮機氣源、噪聲低。

性能指標:


固有頻率

垂直:1.0~2.0Hz    水平:1.0~2.0Hz

隔振方式

空氣彈簧   隔振橡膠

水平方式

自動水平   氣動控制

阻尼方式

多小孔空氣阻尼

平臺高度

800mm

工作壓力

0.2~0.4MPa

空氣源

靜音空氣壓縮機  <50dB

隔振效率

垂直:5Hz時:82~88% ;   10Hz時:86~95%

水平:5Hz時:78~86% ;   10Hz時:84~92%

重復定位精度

±0.1mm

臺板平面度

≤0.05mm/m2

臺板粗糙度

≤0.8μm,表面亞光處理

調(diào)節(jié)高度

±10mm



標準尺寸:


臺板規(guī)格

臺板尺寸(mm)

固有頻率

高度(m)

載荷(KG)  

009006

900×600

垂直:2.0Hz    水平:2.0Hz

0.8

<135

010008

1000×800

垂直:2.0Hz    水平:2.0Hz

0.8

<200

012009

1200×900

垂直:2.0Hz    水平:2.0Hz

0.8

<270

015010

1500×1000

垂直:2.0Hz    水平:2.0Hz

0.8

<375

018010

1800×1000

垂直:1.8Hz    水平:2.0Hz

0.8

<450

020010

2000×1000

垂直:1.8Hz    水平:1.8Hz

0.8

<500

012012

1200×1200

垂直:2.0Hz    水平:2.0Hz

0.8

<360

015012

1500×1200

垂直:2.0Hz    水平:2.0Hz

0.8

<450

018012

1800×1200

垂直:1.8Hz    水平:1.8Hz

0.8

<540

020012

2000×1200

垂直:1.8Hz    水平:1.8Hz

0.8

<600

024012

2400×1200

垂直:1.5Hz    水平:1.8Hz

0.8

<720

030012

3000×1200

垂直:1.5Hz    水平:1.8Hz

0.8

<900

035012

3500×1200

垂直:1.5Hz    水平:1.8Hz

0.8

<1050

040012

4000×1200

垂直:1.2Hz    水平:1.8Hz

0.8

<1200

050012

5000×1200

垂直:1.2Hz    水平:1.5Hz

0.8

<1500

060012

6000×1200

垂直:1.2Hz    水平:1.5Hz

0.8

<2000

015015

1500×1500

垂直:1.8Hz    水平:1.8Hz

0.8

<560


應用領域:


  顯微鏡、醫(yī)療生物

  光路測試、光學測量

  激光掃描、激光干涉

  光譜實驗、精密檢測

  集成電子

對振動要求非常高的儀器設備