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主動(dòng)控制隔振平臺(tái)- MRT-P/B系列

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MRT-P/B主動(dòng)隔振平臺(tái)以連勝ZDT高性能空氣彈簧作為基本的支撐;同時(shí)配以傳感器、控制電路和音圈作動(dòng)器,共同組成精密主動(dòng)控制隔振系統(tǒng)。其中P/B型空氣彈簧,一方面解決了光學(xué)平臺(tái)及儀器設(shè)備的承載問(wèn)題,另一方面可以對(duì)大于其隔振頻率的環(huán)境振動(dòng)進(jìn)行第一級(jí)過(guò)濾;對(duì)于未完全過(guò)濾掉的微小振動(dòng),則由傳感器采集平臺(tái)六個(gè)自由度的振動(dòng)信號(hào)輸入控制器,由其作出迅速有效的信號(hào)處理,以控制音圈作動(dòng)器,使其提供與平臺(tái)殘余振動(dòng)大小相等、方向相反的力。


其主要優(yōu)勢(shì)在于: 

l  進(jìn)一步消除殘余振動(dòng),大幅提升空氣彈簧光學(xué)平臺(tái)的隔振性能;

l  有效遏制空氣彈簧固有頻率附近有害的振動(dòng)放大及共振,使系統(tǒng)能始終處于穩(wěn)定、優(yōu)良的工作狀態(tài)。

l  對(duì)于小的沖擊,音圈電機(jī)反應(yīng)快,使系統(tǒng)能快速的恢復(fù)到穩(wěn)定狀態(tài)。

性能指標(biāo):


      隔振頻率

  1—200Hz

      隔振性能

  5Hz :衰減90%,

  10Hz:衰減 95%

      負(fù)載能力

  根據(jù)平臺(tái)的尺寸而定

      單作動(dòng)器最大補(bǔ)償力

   ±10N (垂直),±10N(水平)

      沖擊響應(yīng)時(shí)間

   ≤300ms

      供電

   220V   50W

      工作溫度及條件

   溫度 5-40℃

   濕度 0-60%

   工作條件<2500m 海拔高度



標(biāo)準(zhǔn)尺寸:


臺(tái)板規(guī)格

臺(tái)板尺寸(mm)

高度(m)

載荷(KG)

009006

900×600

0.8

<135

010008

1000×800

0.8

<200

012009

1200×900

0.8

<270

015010

1500×1000

0.8

<375

018010

1800×1000

0.8

<450

020010

2000×1000

0.8

<500

012012

1200×1200

0.8

<360

015012

1500×1200

0.8

<450

018012

1800×1200

0.8

<540

020012

2000×1200

0.8

<600

024012

2400×1200

0.8

<720

030012

3000×1200

0.8

<900

015015

1500×1500

0.8

<560

018015

1800×1500

0.8

<675

020015

2000×1500

0.8

<750

024015

2400×1500

0.8

<900

030015

3000×1500

0.8

<1125


應(yīng)用領(lǐng)域: 

        掃描探針顯微鏡(AFM/LFM/STM)

        激光干涉儀

        激光共聚焦顯微鏡

        對(duì)振動(dòng)有極高要求的儀器設(shè)備 

系統(tǒng)涉及概念及參數(shù): 

l  單個(gè)作動(dòng)器最大補(bǔ)償力:為系統(tǒng)單個(gè)作動(dòng)器對(duì)平臺(tái)振動(dòng)所能施加反作用力的最大值。

l  沖擊響應(yīng)時(shí)間:為系統(tǒng)受到一定量的沖擊振動(dòng)后恢復(fù)穩(wěn)定所經(jīng)歷的時(shí)間;      系統(tǒng)沖擊響應(yīng)時(shí)間:300ms。

l  音圈電機(jī):因其結(jié)構(gòu)類似于喇叭的音圈而得名,具有高頻響、高精度的特點(diǎn)。根據(jù)振動(dòng)環(huán)境和系統(tǒng)總質(zhì)量的不同,最大可提供±10N的力。

l  傳感器:加速度傳感器,是感知外界振動(dòng)信號(hào)加速度大小的器件。傳感器量程0.5g,頻率范圍0.05-300Hz,靈敏度10V/G

l  控制器:主要負(fù)責(zé)信號(hào)放大、濾波、變換、采集數(shù)據(jù),計(jì)算,功率放大的模塊。